Electroforming을 이용한 Metal Base Micro-Structure 제작

July 7, 2017

Electroforming(전주도금)이란 전기도금의 원리를 이용해 소지물체(멘드렐 혹은 마스터)에 도금한 뒤 도금층을 분리하여 부품을 제조 복제하는 금속 성형공정의 하나이다.

 

본 실험에서는 MEMS (Photo-lithography) 기술과 Electroforming 기술을 결합하여 Micro Electroforming (마이크로전주성형) 기술의 개발을 목표로 하고있다.

음극 : M(양이온) + e(전자) → M(금속)

양극 : M(금속) → M(양이온) + e(전자)

 

M : Nickel, Copper, Iron, Silver, Gold, Aluminum, Alloys etc.

 

◆ Micro-ECM 프로브 전극을 제작

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

◆ Metal Shadow Mask를 제작

 

 

 

 

 

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